中文名；三甲基一氯硅烷

英文名；Chlorotrimethylsilane

中文別名；三甲基氯硅烷

CAS號；75-77-4

EIECS號；200-900-5

分子式；C3H9ClSi

分子量；108.64

含量；99.7%

包裝；170公斤/桶

風險術語；R11; R14; R21; R34; 

安全術語；S16; S26; S36/37/39; S45; 

性狀 無色易揮發易燃液體。
熔點 -57.7℃
沸點 57.7℃
相對密度 0.8580
折射率 1.3885
閃點 27.8℃
溶解性 溶于苯、乙醚和全氯乙烯。
用途；可用于生產各種有機硅化合物，是生產六甲基二硅氮（胺）烷和六甲基二硅氧烷的主要原料