Equipment introduction設備介紹

@ 設備型號為HF-RS-A

@ 設備適用于氧化亞硅的真空升華法制備

@ 設備工作區尺寸為p120mmxL600mm(填充量約為12L)

@ 設備加熱區爐管采用剛玉材質

@ 設備設計一個測溫點

@ 設備溫控區數為一區

@ 設備溫控精度為土2°C

@ 設備溫控采用自主開發的數顯屏

@ 設備真空度10Pa(可定制)

@ 設備功率為12kw

@ 設備設計溫度為RT~1350℃

◎ 設備外形尺寸為L1700xW800xH1570(mm)

(最終以制造為準)