功能

流量計/控制器

基本型號 

LF400-S

滿量程流量范圍(N2)

SCCM

0～5，10，20，30，50，100，200，500

SLM

0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30

精度(％F.S)

±1(≤15SLM)

±1.5(＞15SLM.)

控制閥動作型式

常閉式

線性(％F.S.)

±0.5～1(≤15SLM)

±1.5％(＞15SLM.)

重復(fù)精度(％F.S.)

±0.2

響應(yīng)時間(sec)

≤1

流量輸出信號

0-+5.00V

流量設(shè)定信號

0-+5.00V

電器接頭

DB15 pin(接頭)

工作環(huán)境溫度

(℃)

5～45

工作壓差

(MPa)

0.1～0.5

漏率

SCCSHe

1×10-9

最大耐壓

3MPa

介質(zhì)接觸材質(zhì)

304，316，316L

密封材料

氟橡膠，硅橡膠，***橡膠，聚四氟乙烯

接頭

VCR " 1/4、1/2

Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm

接頭和尺寸

Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm

1/4"VCR:127×28×100mm

電源要求

+15V,50mA;-15V,200mA

重量

1.0KG