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蘇州禾川化工新材料科技有限公司  

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硅片切割膠成分分析
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更新 2017-03-03 13:18
 
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                    硅片切割膠成分分析

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電火花線切割由于切割過(guò)程中不存在宏觀切削力且具有大厚度切割的優(yōu)勢(shì), 因此其具有大厚度、超薄切割等特點(diǎn), 將成為太陽(yáng)能硅片切割的一個(gè)研究熱點(diǎn)。本文研究了高阻半導(dǎo)體材料的放電加工模型, 提出了電火花加工太陽(yáng)能硅片的思路和工藝方法, 并首次對(duì)電阻率為2. 1 8#cm 的P 型太陽(yáng)能硅錠進(jìn)行了電火花線切割實(shí)驗(yàn), 切割效率大于100 mm2/min, 且該方法在加工中不受硅晶體晶向的影響, 具有成本低、效率高的特點(diǎn), 為下一步多線電火花線切割加工太陽(yáng)能硅片奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。

作為光伏電池主要原料的太陽(yáng)能硅片, 電阻率通常在1~ 10 8#cm 范圍, 此電阻率范圍的半導(dǎo)體材料雖然具有一定的導(dǎo)電性, 但它的電阻率要比金屬材料高出3~ 4 個(gè)數(shù)量級(jí), 且有其十分特殊的電性能, 在放電加工過(guò)程中由于接觸勢(shì)壘、體電阻等不利因素的存在, 鉗制了放電回路的加工電流, 因此不能直接采用普通電火花線切割加工的方法。本課題組為此進(jìn)行了深入研究, 首次提出了一系列高阻半導(dǎo)體材料電火花線切割的理論。

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